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佳能将发布KrF半导体光刻机FPA6400ES6a
日期: 2026-11-11 16:47来源: 财联社域名: finance.eastmoney.com
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重要性：背景级 · 50·对象槽：unmatched·对象关系：sector_transmission·影响对象：sector:半导体、sector:芯片、sector:存储、stock:半导体·来源/栏目：东方财富·抓取时间：2026-11-11 16:48:01·信任分层：优先源
佳能宣布，将于2026年12月上旬发售面向存储和逻辑芯片的KrF（氟化氪）扫描式 半导体 光刻机 FPA-6400ES6a。通过新开发的超高加速度载台缩短驱动时间，这款KrF扫描式 半导体 光刻机 新产品具备每小时400片晶圆的高产能；同时新开发了即使在高速驱动时也能进行稳定高精度位置控制的震动抑制技术，以及降低设备内气流不均匀、使激光光路温度均一化的 空调 控制技术，从而实现业界高水平的4.0nm套刻精度