科创板半导体设备板块三季报营收正增长，科创半导体ETF华夏（588170）近一月“吸金”15亿元
截至2026年11月2日10:03，A股三大指数走势分化，上证指数涨0.16%，深证成指跌0.09%，创业板指跌0.28%。
科创芯片板块强势上涨，科创 半导体 ETF华夏（588170）盘中表现强势，成交额10.81亿元，稳居同类第一，成分股方面涨跌互现， 安集科技 领涨15.20%， 沪硅产业 上涨4.62%， 中船特气 上涨4.31%， 有研硅 上涨3.61%， 中巨芯-U 上涨3.14%； 中微公司 领跌3.50%， 晶升股份 下跌2.13%， 芯源微 下跌1.27%， 先锋精科 下跌1.27%， 兴福电子 下跌1.16%。
Wind数据显示，跟踪精度方面，截至2026年10月30日，科创 半导体 ETF华夏（588170.SH）近3个月跟踪误差为0.170%，在同类产品中跟踪精度领先。
资金流入方面，截至2026年10月30日，近一个月内，科创 半导体 ETF华夏（588170.SH）合计“吸金”15.00亿元，日均净流入达0.68亿元。
消息面上，据业内人士统计，科创板共有16家 半导体设备 企业，覆盖刻蚀、薄膜沉积、检测、封测等核心环节。整体来看，今年第三季度，共16家科创板 半导体设备 公司均实现营收正增长。
科创半导体ETF华夏（588170.SH）：及其联接基金（A类：024417；C类：024418），跟踪指数为上证科创板 半导体材料 设备指数，其中 存储芯片 含量超80%，长鑫产业链概念含量58%， 先进封装 含量超67%，聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。
按申万一级行业分类，上证科创板 半导体材料 设备主题指数权重集中于 电子 （98.10%）、 电力 设备（1.90%）等板块。按申万二级行业分类，上证科创板 半导体材料 设备主题指数权重集中于半导体（87.77%）、 电子化学品Ⅱ （10.32%）、 光伏设备 （1.90%）等板块。
数据来源：Wind，截至2026年11月2日。科创半导体材料设备指数，2021-2025年完整会计年度业绩为：-5.14%、-25.65%、14.99%、-0.13%、58.42%。指数历史业绩不预示基金产品未来表现。基金有风险，投资须谨慎。提及个股仅用于行业事件分析，不构成任何个股推荐或投资建议。ETF为场内交易型指数基金，二级市场价格存在折溢价与流动性风险，基金表现与跟踪指数可能存在跟踪误差，过往业绩不代表未来收益。每日净流入=（当日的场内流通份额-前一日的场内流通份额）*当日成交均价