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超纯应材：5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产

日期: 2026-10-20 11:44来源: 界面新闻域名: finance.eastmoney.com

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超纯应材 10月20日在互动平台表示，公司5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产