国仪公司国产200kV透射电镜正式发布
上证报记者从国仪公司获悉，10月18日，公司自主研发的200kV场发射透射电镜TEM-F200在南京市2026年全国 电子 显微学学术年会上正式发布。据公司介绍，该产品信息分辨率达0.1纳米，点分辨率达0.25纳米，多项关键性能指标达到国际一流水平，并已具备量产交付能力。
透射电镜是 半导体 、先进材料、 新能源 和生命科学等领域的关键分析工具。长期以来，全球透射电镜市场由少数国际厂商占据，国内用户在设备采购、关键部件供应、维修维护、软件适配和应用服务等方面高度依赖外部供给。高端透射电镜实现国产化突破，有助于提升科学仪器供应链的自主可控水平。
在 半导体 领域，随着芯片结构不断复杂化，透射电镜在先进制程研发和芯片问题定位中的作用日益突出。芯片制造涉及多层薄膜、微小器件结构和复杂材料界面，透射电镜可对芯片截面进行高分辨成像，帮助研究人员观察晶体排列、薄膜厚度、界面质量以及位错、空洞、杂质等微观缺陷，并结合微区成分分析，为工艺验证、器件研发、失效分析和可靠性评估提供依据。
国仪公司介绍，200kV级场发射透射电镜对 电子 枪、高压电源、 电子 光学、探测器和整机控制等多个系统的协同稳定性要求极高，公司团队通过自主研发，完成了从核心模组、控制分析软件、系统集成到整体优化的全流程。
国仪公司董事长贺羽表示：“200kV透射电镜具有更高的加速电压，电子束动能更高、波长更短，相对低电压平台对一定厚度范围内的高密度样品穿透能力更强；在合适薄区样品和相应分析附件配合下，可以更好地支持 半导体 、先进材料等领域的高分辨成像、界面与缺陷分析以及纳米尺度微区成分分析。经过持续攻关，TEM-F200已具备量产交付能力，并建立了全面的客户服务体系。”
中国 仪器仪表 学会分析仪器分会总干事吴爱华表示，200kV透射电镜可应用于材料研发、芯片微观结构与失效分析、生物医学和产品质量控制等科研与产业领域。国仪公司200kV场发射透射电镜的发布，将进一步丰富国内高端科学仪器供给，提升分析测试技术的自主保障能力