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华海清科自主研发国内首台全自动板级抛光装备进入量产线
日期: 2026-09-09 10:12来源: 财联社电报域名: cls.cn
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重要性：背景级 · 49·对象槽：unmatched·对象关系：sector_transmission·影响对象：sector:先进封装·来源/栏目：财联社·抓取时间：2026-09-09 10:15:02·信任分层：优先源·转载来源：东方财富
【华海清科自主研发国内首台全自动板级抛光装备进入量产线】财联社9月9日电，近日，华海清科自主研发的全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX顺利出机，发往先进封装产线投入量产应用。
作为国内首台进入量产线的全自动板级CMP装备，此次出机的Master-P510APEX针对大尺寸板级封装的工艺特点进行了系统性设计，具备全板面均匀性与平坦化控制能力，可满足低缺陷抛光要求，并通过智能终点检测与自动化控制实现多种工艺模式的灵活切换，为先进封装产线提供高一致性、高良率的规模化量产支持