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英特尔HighNA EUV晶圆处理量突破百万片

日期: 2026-09-08 10:56来源: 科创板日报域名: finance.eastmoney.com

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英特尔宣布，其采用高数值孔径极紫外（High-NA EUV）光刻设备处理的300mm晶圆数量累计已突破一百万大关。这一里程碑距离其首台High-NA EUV设备完成组装还不到两年半时间