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中微公司推出多款全新自主研发高端微观加工设备
日期: 2026-09-01 17:54来源: 科创板日报域名: finance.eastmoney.com
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重要性：背景级 · 53·对象槽：unmatched·对象关系：sector_transmission·影响对象：sector:半导体、sector:芯片、sector:存储、stock:半导体·来源/栏目：东方财富·抓取时间：2026-09-01 17:54:01·信任分层：优先源
中微公司 在CSEAC 2026期间宣布推出多款全新自主研发的高端微观加工设备，覆盖极高深宽比刻蚀、等离子体增强化学气相沉积、原子层沉积、金属薄膜沉积及 碳化硅 外延等关键领域。在刻蚀产品方面， 中微公司 全新推出的Primo XD-RIE70到90比1极高深宽比刻蚀机，能够适配先进 存储芯片 的高端制造需求；
薄膜沉积设备方面，本次推出的四款新品覆盖高端三维存储与先进逻辑芯片的核心薄膜工艺环节，其中Performo QuaStar®是作为全新研发的先进PECVD系列设备，系列首款产品Performo QuaStar® ON直面3D闪存制造的氧化硅/氮化硅叠层沉积工艺环节；泛 半导体 设备方面， 中微公司 面向 碳化硅 外延工艺推出新型高温生长设备PRISMO PDS8®