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消息称SK海力士推进EUV工艺 开始引入新材料PSM
日期: 2026-08-11 12:56来源: 财联社电报域名: cls.cn
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【消息称SK海力士推进EUV工艺 开始引入新材料PSM】《科创板日报》11日讯，SK海力士正致力于推进其极紫外光刻（EUV）技术，以实现下一代DRAM的量产。公司于去年首次推出高数值孔径（High-NA）EUV设备，并于今年全面启动相关技术的研发。据悉，该公司已全面开始引入相移掩模（PSM）等新型材料，以提升EUV光刻性能。（ZDNET Korea）