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江苏先导首台12寸高端晶圆级光学磁控溅射设备正式交付
日期: 2026-07-31 11:55来源: 财联社电报域名: cls.cn
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【江苏先导首台12寸高端晶圆级光学磁控溅射设备正式交付】财联社7月31日电，据先导科技集团，7月30日，江苏先导微电子自主研发的首台Star600-EOSS 12寸高端精密光学磁控溅射量产设备，在江苏徐州高新区生产基地完成设备组装、联调，成功通过自动化与工艺验证，正式交付国内头部晶圆厂，标志着公司在高端晶圆级光学镀膜装备领域实现了从研发、制造到产业化交付的重要突破