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机器人：公司目前暂无脑机接口相关产品
日期: 2026-07-17 12:19来源: 第一财经域名: finance.eastmoney.com
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重要性：折叠级 · 5·对象槽：unmatched·对象关系：sector_transmission·影响对象：sector:半导体、stock:半导体·来源/栏目：东方财富·抓取时间：2026-07-17 12:21:01·信任分层：优先源
机器人 在互动平台表示，公司目前暂无脑机接口相关产品。在 半导体 装备业务领域产品包括EFEM、大气机械手、真空机械手及真空传输平台等，主要应用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节及领域