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阿斯麦:英特尔实现High NA EUV高数值孔径光刻量产应用
日期: 2026-07-15 13:32来源: 界面新闻域名: finance.eastmoney.com
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重要性:背景级 · 50·对象槽:unmatched·对象关系:sector_transmission·影响对象:sector:芯片·来源/栏目:东方财富·抓取时间:2026-07-15 13:33:01·信任分层:优先源
7月15日, 阿斯麦 宣布, 英特尔 代工已在Intel 18A工艺节点上,利用 阿斯麦 高数值孔径极紫外(High NA EUV)光刻技术量产部分Intel Core Ultra Series 3(代号Panther Lake)处理器,成为全球首家实现High NA EUV逻辑芯片高产量出货的企业。
双方表示,Intel 18A部分工艺层已完成High NA EUV双重认证,产品良率已达到现有NXE EUV平台水平,并将继续推进该技术在未来制程节点的应用